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利用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和 70 59玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的低电阻率的ZnO :Al透明导电膜 ,对在低温 ( 2 5～ 2 1 0℃ )下制备薄膜的结构和光电特性进行了比较研究 .铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜 ,具有六角纤锌矿结构 ,最佳取向为 ( 0 0 2 )方向 .薄膜的最低电阻率分别为 1 .0× 1 0 -3和 8.4× 1 0 -4 Ω·cm ,在可见光区的平均透过率分别达到了 72 %和 85%.