腐蚀铝箔高压阳极氧化膜微观结构与电化学特征

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将高压铝电解电容器用腐蚀铝箔在硼酸电解质溶液中进行530 V阳极氧化,应用透射电镜与交流阻抗研究了所形成的高压阳极氧化膜的微观结构与电化学特征。结果表明:高压阳极氧化膜具有明显的层状结构特征,各层的结晶程度与缺陷特征不同,外层晶化程度较低、缺陷较少;中层与内层晶化程度较高、缺陷较多;铝箔表面微孔诱发弥散效应,交流阻抗频谱的等效电路可用膜QOX与膜电阻ROX并联,再与电解液电阻RS串联来表征,容抗行为显著接近界面电容元件特性,膜电阻处于氧化膜非晶质层电阻与结晶质层电阻之间而偏向结晶质层电阻。
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