【摘 要】
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提出了一种实时太赫兹(THz)主动成像系统。系统的关键元件是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的双悬臂梁焦平面阵列(FPA)。由于THz能量小，为了提高器件探测的灵敏度，针对THz波段对器件提出了使用基于表面等离子体共振原理的光读出方案；对微梁结构做了设计，使微梁可以沿垂直方向移动。对设计的结构进行了有限元分析，表明该方案是一种探测精度很高的解决方案。
【机 构】
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北京理工大学光电学院，北京100081太赫兹光电子学教育部重点实验室，北京100084
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提出了一种实时太赫兹(THz)主动成像系统。系统的关键元件是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的双悬臂梁焦平面阵列(FPA)。由于THz能量小，为了提高器件探测的灵敏度，针对THz波段对器件提出了使用基于表面等离子体共振原理的光读出方案；对微梁结构做了设计，使微梁可以沿垂直方向移动。对设计的结构进行了有限元分析，表明该方案是一种探测精度很高的解决方案。
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