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综述用离子束技术研究稀磁半导体和纳米磁性材料的构建、调控和改性的进展和现状。离子束注入是优选的构建和调控方法，测试结果表明在GaN和ZnO等新半导体光电材料中注入Mn、Ni和Co等过渡金属离子可得到低温和室温下的铁磁性。离子束分析技术给出这些新材料薄膜的微结构信息，透射电镜下观察到过饱和剂量Mn^＋注入GaN形成的纳米磁性颗粒。