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用硝酸铁和硝酸钡作起始原料，柠檬酸作螯合剂，采用溶胶凝胶工艺（Sol-Gel）在Si（100）基片上制备出具有c轴取向的BaFe12O19铁氧体（BaM）薄膜．采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和振动样品磁强计（VSM）对薄膜样品的成相、表面形貌及磁性进行了分析，研究了配胶过程中所加入柠檬酸的量对薄膜磁学性能的影响，发现适量的柠檬酸的加入对BaM相的形成、晶粒的形状以及薄膜取向至关重要．