【摘 要】
：
一、前言等离子体技术在半导体器件工艺中应用很广,它除了能作微细图形的腐蚀外,还可以进行抛光,清洗、镀膜等加工。我们用CF4气体对硅和硅化合物进行了腐蚀实验,取得了一些结果。通常腐蚀工艺用的等离子体是在0.01——0.1托真空中,通入CF4,CCl4,SF6等活性气体,在高频电场作用下活性气体辉光放电,形成非平衡低温等离子体。其特点是电离度低,气体温度低（1）。等离子体内的粒子之间的相互碰撞
论文部分内容阅读
<正> 一、前言等离子体技术在半导体器件工艺中应用很广,它除了能作微细图形的腐蚀外,还可以进行抛光,清洗、镀膜等加工。我们用CF4气体对硅和硅化合物进行了腐蚀实验,取得了一些结果。通常腐蚀工艺用的等离子体是在0.01——0.1托真空中,通入CF4,CCl4,SF6等活性气体,在高频电场作用下活性气体辉光放电,形成非平衡低温等离子体。其特点是电离度低,气体温度低（1）。等离子体内的粒子之间的相互碰撞,激励分子的内部运动,如振动,转动,电子跃迁等,例如双原子的分子A2和电子e的碰撞（2）,对应于电子能量的大小,可以发生如下的反应
其他文献
（一）发色理论研究简介染料的经典发色理论是一门古老的科学。自19世纪末年建立了合成染料工业以来,发色理论便随着产生,它在染料化学的研究中起着应有的理论指导作用。但是19世纪末到20世纪20年代,人们对物性世界的认识还是客观的,人们对微观世界所知尚少。所以当时发色理论仅是染料发色的经验总结。1920年后创立了量子力学,促进了有机染料发色理论的发展,近
目的:系统评价白芍总苷（TGP）联合甲氨蝶呤（MTX）与来氟米特（LEF）治疗类风湿关节炎（RA）的疗效和安全性。方法:计算机检索PubMed、Cochrance Library、Embase及中国知网期刊全文数据库、维普中文科技期刊全文数据库、万方医药期刊数据库、中国生物医学文献服务系统,搜集TGP联合MTX与LEF治疗RA的随机对照试验（RCTs）,检索时限均从建库至2020年3月。由2位研究
偶氮染料是染料中最重要的一类,也是丝绸用染料中最主要的一类。它几乎可染所有的纤维,还具有作颜料、分析试剂等特殊用途。而且偶氮染料色谱齐全,用它还可制得更复杂的染料,如金属络合染料等。为此研究偶氮染料的颜色与其结构的关系,具有一定的实际意义。
为了使广大丝绸印染工作者比较系统地了解有机染料的发色理论,从而指导染料的应用,不断提高印染产品质量,本刊特请上海化工学院染料教研组介绍这方面的情况,分“光与染料的发色”、“偶氮染料的发色理论”、“蒽醌染料的发色理论”三篇文章连续刊登。
目的:应用关联规则、聚类分析等数据挖掘技术,分析中药专利复方治疗腹泻型肠易激综合征的用药规律。方法:检索治疗腹泻型肠易激综合征的中药专利复方,根据纳排标准进行筛选。建立Excel表,对入选的复方进行术语规范化处理,应用数据挖掘软件对数据进行频次统计、频繁项集分析、关联规则分析、聚类分析、复杂网络分析。结果:共得到96首专利复方,频次统计发现用药多温、平,以甘、辛、苦味药为主,使用频次较高的中药包括
钕铁硼永磁材料作为第三代永磁材料,是应用范围最广、发展速度最快、综合性能最优、性价比最高的磁性材料,由于使用稀土元素获得最高的磁能积,以及相应的矫顽力,可以大幅提升电能-机械能转化效率,在碳排放和节能降耗中发挥核心材料作用,广泛应用于新能源汽车、节能家电、消费电子、清洁能源等领域。着力从中国稀土永磁产业发展现状、"十四五"磁材市场需求预测和原料供应等几方面进行分析,并提出相应的意见和建议。
小学体育在义务教育阶段的重要性不言而喻,小学生正处在身体发育的上升期,必须要强化小学生的体育运动意识,鼓励他们合理锻炼,培养健康的身心。小学体育教师应该在核心素养的指导下,不断创新课堂教学观念和策略,选择小学生喜闻乐见的教学方式,既能发展小学生的身心素质和道德品质,还能让小学生养成终身体育锻炼的习惯。本文先分析小学体育教学存在的问题,再提出具体的体育教学策略。
目前,随着光伏电池快速发展,单晶硅片的需求量也逐渐增加,现阶段主要采用纯氩气氛拉晶工艺生产单晶硅片。然而,经过一次生产后,氩气会受到CO,H2等痕量杂质气体的污染,无法再次使用,传统的催化氧化方法需要额外通入纯氧,过量氧气的添加需要后续的脱除装置,工艺复杂,能耗高,难以实现杂质气体的直接高效脱除,高纯氩气的供应不足成为了该行业发展的瓶颈。基于此背景,本文提出了一种基于化学链燃烧的氩气净化技术,采用
2020年新冠疫情使电商直播的发展扶摇直上,将"无接触经济"的直播带货推向高潮,人们足不出户就可以通过电商直播营造的虚拟购物环境完成购买行为,为防控疫情、拉动消费做出重大贡献。本文应用SWOT-PEST分析法,结合政治、经济、社会和技术环境,深入梳理电商直播的优势与劣势,明确外部的机遇与威胁,并提出相应的对策,以促进"直播+电商"的可持续发展。