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一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统
一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leolee19820604
【摘 要】
:
研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室,扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持,本底真空度可达2×10^-6Pa。利用该系统所生长的SiGe外延
【作 者】
:
罗广礼
陈培毅
【机 构】
:
清华大学微电子研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
超高真空化学气相沉积
SIGE
低温外延
UHVCVD
SiGe
Low temperature epitaxy
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研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室,扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持,本底真空度可达2×10^-6Pa。利用该系统所生长的SiGe外延层晶体质量良好,界面清晰平直;利用Ge组分渐变技术还能够实现低位错密度弛豫SiGe外层的生长。
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