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在上期中对化学气相沉积（ＣＶＤ）技术的基本原理、特点等进行了论述［１］。本文对化学气相沉积（ＣＶＤ）技术在无机材料的合成与制备中的应用，尤其是在制备金刚石薄膜及最近几年发展起来的梯度功能材料方面的应用进行了阐述；对ＣＶＤ技术在材料制备应用方面的发展趋势及所面临的课题也进行了简要论述。
化学气相沉积技术的研究及在无机材料制备中的应用进展（续完）
【摘 要】
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在上期中对化学气相沉积（ＣＶＤ）技术的基本原理、特点等进行了论述［１］。本文对化学气相沉积（ＣＶＤ）技术在无机材料的合成与制备中的应用，尤其是在制备金刚石薄膜及最近几年发展起来的梯度功能材
【机 构】
：
武汉工业大学新材料研究所
【出 处】
：
武汉工业大学学报
【发表日期】
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1995年02期
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