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利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射显示屏是一种新型的平板器件。介绍了三极结构碳纳米管场致发射显示屏的工作原理，基本结构以及寻址方式。重点讨论了在制作器件方面所存在的真空封装问题，荧光粉制作问题以及绝缘隔离层问题，在提出一种新型结构栅极制作工艺的基础上，成功地制作了三极碳纳米管场发射显示屏器件。
三级碳纳米管场发射显示屏的制作研究
【摘 要】
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利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射显示屏是一种新型的平板器件。介绍了三极结构碳纳米管场致发射显示屏的工作原理，基本结构以及寻址方式。重点讨论了在制作器件方面所存在
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2003年3期
【基金项目】
：
国家自然科学基金(60036016),,陕西省重点科技攻关项目,863(2001AA313090)资助项目
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