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利用平板式等离子增强化学气相沉积(PECVD)法,在反应温度为300℃,NH3:SiH4比例为3:1和沉积压强为0.2-0.4mbar的条件下,在多晶硅片上沉积了具有不同光学和电学性能的SiNx膜.实验研究了不同压强对SiNx膜的钝化效果以及电池转换效率的影响.
PECVD沉积压强对太阳电池转换效率的影响
【摘 要】
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利用平板式等离子增强化学气相沉积(PECVD)法,在反应温度为300℃,NH3:SiH4比例为3:1和沉积压强为0.2-0.4mbar的条件下,在多晶硅片上沉积了具有不同光学和电学性能的SiNx膜.实
【机 构】
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英利能源(中国)有限公司,河北保定,071051
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2017年4期
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