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13年后,上海微电子装备有限公司在国际光刻机制造领域终于崭露头角,进入先进制造业的“国际俱乐部”。所谓光削机,其是制造大规模集成电路芯片的关键设备,小到手机、平板电脑,大到民航客机、导弹,都离不开芯片。对一个国家来说,光刻机属于重大战略犍备。上微公司成立的缘起,是亟担国家“863计划”项目,当时目标是研发100纳米光科机。