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采用磁控溅射沉积技术制备Ti、Si、C和N掺杂的复合MoS2薄膜,通过X射线能谱仪、扫描电子显微镜Xray衍射、拉曼光谱研究了不同掺杂元素对MoS2基薄膜成分及微观组织结构的影响,利用纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损实验机对比分析了掺杂金属元素及不同非金属元素对MoS2薄膜力学性能和摩擦磨损性能的影响。结果表明：MoS2薄膜中掺杂均可有效抑制MoS2柱状晶的形成,N原子的添加抑制了MoS2（002）晶面生长,薄膜向无定型结构转变;Ti原子的掺入使MoS2薄膜硬度增加,且呈现出良好的摩擦磨损性能;非金属元素Si的