【摘 要】
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采用真空共蒸发法制备了CdSyTe1-y（0≤y≤1）多晶薄膜,并用X射线衍射谱（XRD）、能量色散谱（EDS）研究了CdSyTe1-y多晶薄膜的结构、组分。实验结果表明：石英振荡法监控的组分与EDS谱结果
【基金项目】
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国家高技术研究与发展计划项目（2003AA513010）,国家自然科学基金项目（60506004）,四川省科技攻关项目（05GG021-003-3）和四川省科技支撑计划（2008GZ0027）资助
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采用真空共蒸发法制备了CdSyTe1-y（0≤y≤1）多晶薄膜,并用X射线衍射谱（XRD）、能量色散谱（EDS）研究了CdSyTe1-y多晶薄膜的结构、组分。实验结果表明：石英振荡法监控的组分与EDS谱结果较为一致;当y〈0.3时,CdSyTe1-y多晶薄膜为立方结构,当y≥0.3时,CdSyTe1-y多晶薄膜为六方结构。采用XRD线形分析法可计算出CdSyTe1-y多晶薄膜晶粒大小约20～50nm。最后,用紫外-可见-近红外谱（UV-Vis-NIR）,测得300～2500nmCdSyTe1-y多晶薄膜的
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