纳米级人工超晶格多层膜的X射线广角衍射分析

来源 :昆明理工大学学报(理工版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sanshn
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作者导出人工超晶格多层膜的X射线衍射的几何光学图,得出多层膜的Bragg方程,并讨论因装放样品而导致样品轴偏心的精细误差消除步骤.用普通广角X射线衍射仪,在低角区得到纳米级单、多层膜的调幅波长(厚度)及周期.
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