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在纳米压印技术中，热压印是普遍采用的压印方法。聚合物是压印的媒介．通过对聚合物加热、加压、冷却使聚合物成型，达到转印图形的目的。为了提高热压印技术和压印图形的精度．对聚合物受热后的特性以及聚合物的填充机理进行分析。通过实验得出．聚合物中的气体可以导致聚合物填充不完全，图形产生气泡，严重影响了图形的精度。聚合物的填充速度与模板的图案有关，平坦的模板比带有深孔的模板填充速度快。最后通过参数优化，得出高分辨率的压印图形。