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从理论上对圆光栅的特性进行了分析及精确计算，设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构及检测电路。该传感器既可以应用于实际的磁盘定位系统，也可以做进一步的改进，成为磁盘定位系统的专用性能测试装置。
光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计
【摘 要】
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从理论上对圆光栅的特性进行了分析及精确计算，设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构及检测电路。该传感器既可以应用于实际的磁盘定位系统，也可以做进一步的
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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大庆石油学院学报
【发表日期】
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1995年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金重点资助
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