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弹道电子发射显微镜（ＢＥＥＭ）是在扫描隧道显微镜基础上发展起来的用于界面无损探测的分析仪器。在描述这种仪器的基本工作原理的基础上，介绍了几种理论模型，并以Ａｕ－ｎ－ｓｉ（１００），Ａｕ／ｎ－ＧａＡ（１００）两种界面系统为例，对实验结果进行了解释，介绍了用这种仪器对金属／半导体界面势垒的探测方法和分析方法。