金刚石镶嵌非晶碳膜和类金刚石薄膜的场致电子发射研究

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【摘要】

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报道了在钼衬底上利用微波等离子体化学气相淀积技术制备金刚石镶嵌非晶碳膜，在硅衬底上用脉冲激光淀积技术（pulsedLaserDeposition）制备类金刚石薄膜，并对其场发射特性和机理进

【作者】

：

姚宁李运钧何金田王世明张兵临任风轩

【机构】

：

郑州大学物理工程学院!河南省基础及应用科学研究所,郑州大学物理工程学院

【出处】

：

光电子技术

【发表日期】

：

1997年1期

【关键词】

：

金刚石类金刚石薄膜场致电子发射 diamond-carbon thin film field electron emission diamond-like

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报道了在钼衬底上利用微波等离子体化学气相淀积技术制备金刚石镶嵌非晶碳膜，在硅衬底上用脉冲激光淀积技术（pulsedLaserDeposition）制备类金刚石薄膜，并对其场发射特性和机理进行了进一步的研究。用金刚石镶嵌非晶碳膜作阴极，在2．1V／μm的场强下便有电子发射，最大发射电流密度为4mA／cm2。实验表明，金刚石镶嵌非晶碳膜是制做场效发射冷阴极的合适材料。更多还原

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