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用ＲＧＴＯ方法制备多孔，颗粒状ＳｎＯ薄膜；根据ＳＥＭ观察结果建立简单导电模型，并验证其导电机制主要是晶界导电；研究纯ＳｎＯ２薄膜及掺杂ＳｎＯ２薄地ＣＯ，乙醇等气体的气敏特性，掺Ｐｔ的薄对ＣＯ有很好的气敏响应；选择合适工作温度，可提高灵敏度改善选择性。
多孔SnO2薄膜的导电和气敏特性
【摘 要】
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用ＲＧＴＯ方法制备多孔，颗粒状ＳｎＯ薄膜；根据ＳＥＭ观察结果建立简单导电模型，并验证其导电机制主要是晶界导电；研究纯ＳｎＯ２薄膜及掺杂ＳｎＯ２薄地ＣＯ，乙醇等气体的气敏特性，掺Ｐｔ的薄对ＣＯ有很好的气敏响应；选择合适工作温
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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传感技术国家重点实验室基金,,国家自然科学基金
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