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期刊论文
下一代能量转换装置用ALD阀门
下一代能量转换装置用ALD阀门
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WOBENLAI
【摘 要】
:
气候变化、能源安全和化石燃料短缺促使人们去研究太阳能电池、氢燃料电池等清洁、高效的能量转换装置。燃料电池和太阳能电池需要运输载荷子穿过一个薄膜来将其发送给外部电
【作 者】
:
Tim Holme
Fritz Prinz
John Bax
【机 构】
:
斯坦福大学,世伟洛克公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
能量转换装置
薄膜沉积技术
ALD
太阳能电池
氢燃料电池
阀门
气候变化
化石燃料
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气候变化、能源安全和化石燃料短缺促使人们去研究太阳能电池、氢燃料电池等清洁、高效的能量转换装置。燃料电池和太阳能电池需要运输载荷子穿过一个薄膜来将其发送给外部电路。因此,能够沉积优质、保形、均匀且尽可能薄(以降低薄膜内载荷子运输带来的电阻损耗)的薄膜沉积技术将使上述两种电池技术受益。
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