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气候变化、能源安全和化石燃料短缺促使人们去研究太阳能电池、氢燃料电池等清洁、高效的能量转换装置。燃料电池和太阳能电池需要运输载荷子穿过一个薄膜来将其发送给外部电路。因此，能够沉积优质、保形、均匀且尽可能薄（以降低薄膜内载荷子运输带来的电阻损耗）的薄膜沉积技术将使上述两种电池技术受益。
下一代能量转换装置用ALD阀门
【摘 要】
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气候变化、能源安全和化石燃料短缺促使人们去研究太阳能电池、氢燃料电池等清洁、高效的能量转换装置。燃料电池和太阳能电池需要运输载荷子穿过一个薄膜来将其发送给外部电
【机 构】
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斯坦福大学,世伟洛克公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年6期
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