多元因子分析法在集成电路技术中的应用

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多元因子分析是一种对多变量进行简约的数理统计方法,它在具有多参数的半导体器件和集成电路CAD/CAT中都具有明显的应用价值。本文在简介多元因子分析原理的基础上,给出了一个具体的集成电路参数测试的应用实例。最后对多元因子分析方法在集成电路技术中的应用前景进行了展望。
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