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STP-i XR1606STP-i XA3306作为全球领先的真空设备和服务供应商Edwards公司在今年的SEMICONChina上再次展示了其先进的真空技术和尾气处理系统。
Edwards：展示先进真空技术和尾气处理系统
【摘 要】
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STP-i XR1606STP-i XA3306作为全球领先的真空设备和服务供应商Edwards公司在今年的SEMICONChina上再次展示了其先进的真空技术和尾气处理系统。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2012年4期
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