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为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3ns,最小脉冲宽度可达10ns。基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in—plane)微运动的自动测量。通过对硅微悬臂梁