【摘 要】
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在微纳器件测试与计量标定领域, 很多问题都涉及到对微观台阶的高精度测量。白光干涉垂直扫描法具有非接触、精度高、速度快等优点, 基于此搭建了白光干涉微观检测系统。利用相移干涉理论, 解算出被测微观台阶的空间相对高度信息。通过中值滤波加间隔差分取极值的方法, 有效识别出台阶的左右两个边缘, 减小了脉冲等噪声带来的干扰。以C#语言编写了WPF形式的检测软件系统, 并对标准的微观台阶进行了多次实验。实验结果表明, 该方案测量的平均偏差稳定在2nm以内, 重复性精度优于0.5%。
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191
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在微纳器件测试与计量标定领域, 很多问题都涉及到对微观台阶的高精度测量。白光干涉垂直扫描法具有非接触、精度高、速度快等优点, 基于此搭建了白光干涉微观检测系统。利用相移干涉理论, 解算出被测微观台阶的空间相对高度信息。通过中值滤波加间隔差分取极值的方法, 有效识别出台阶的左右两个边缘, 减小了脉冲等噪声带来的干扰。以C#语言编写了WPF形式的检测软件系统, 并对标准的微观台阶进行了多次实验。实验结果表明, 该方案测量的平均偏差稳定在2nm以内, 重复性精度优于0.5%。
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