干涉条纹的光电动态对准

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一、引言近年来,不少精密测量仪器都采用了干涉测量技术,并向动态测量方向发展。这类仪器的测量精度常取决于条纹对准精度的高低。在用肉眼对准的情况下,除人眼有生理误差外,由于干涉系统对环境变化极敏感,如人体的热辐射,呼吸引起的湍流等都会导致干涉条纹的变形和漂移,因而对准精度受到了很大的限制。为此,人们不得不寻找新的测量方法。最使人容易 I. INTRODUCTION In recent years, many precision measuring instruments have adopted interferometric techniques and developed toward the direction of dynamic measurement. The accuracy of such instruments often depends on the accuracy of the alignment of the stripes. In the case of eye alignment, in addition to physiological errors in the human eye, due to interfering systems are very sensitive to environmental changes, such as body heat radiation, respiratory turbulence and so will lead to the interference fringe deformation and drift, so the alignment accuracy Has been greatly limited. To this end, people have to find new measurement methods. The most easy
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