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DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计
DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:karstlwq
【摘 要】
:
在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下,对多晶硅铸锭炉进行了研究调查,通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进,对热场等关键部位进行了重新的开发设计,提高了单炉单次的生产量,
【作 者】
:
赵雪峰
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2013年06期
【关键词】
:
多晶硅铸锭炉
加热器
热场改进
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在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下,对多晶硅铸锭炉进行了研究调查,通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进,对热场等关键部位进行了重新的开发设计,提高了单炉单次的生产量,满足生产要求。
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