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文中针对银的晶格特征和银薄膜的生长特性，建立了基于KMC（ Kinetic Monte Carlo）方法的银薄膜生长模型，模拟了单层Ag膜生长初期的表面形貌。在周期性基底且层间原子间采用交错排列的方式条件下，采用EAM（ Embedded Atom Method）计算原子间作用势，并针对金属Ag的晶格特征及其成膜特性进行建模，编程，实验。实验结果表明：在温度不变的情况下，随着覆盖度的增加，表面原子的数量增多，且出现二维岛状生长；岛的生长形貌经历了从分散到凝聚生长的过程；原子岛的数量减少，同时岛的尺寸在增大