微小流量pVTt法气体流量标准装置的研制

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介绍了pVTt法气体流量标准装置的设计原理和方案,给出了装置主要参数的测试方法及测试结果,并对装置进行了不确定度评定.分析了该装置与0.1级1.8 m3 pVTt法气体流量标准装置和0.2级的100 L钟罩装置标定同一组临界流文丘里喷嘴流出系数的结果,验证结果表明装置准确度为0.1级.
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