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设计性能优良的微波加热系统,是研究微波加工陶瓷的重要内容之一.介绍了所研究的用于陶瓷材料微波加工的TE103单模谐振腔系统的原理、结构特点,并对其特性进行了测试研究.结构设计中采用了可调短路活塞及滑动耦合膜片,获得的空腔品质因数高达4200,加载后电压驻波比可调至1.02.在加热区域可获得很高的电场强度,因而可实现陶瓷材料的快速加热.对ZTA、Si3N4、Al2O3等先进陶瓷成功地进行了烧结、连接.该系统可方便地用于具有不同介质特性的小尺寸陶瓷件的烧结、连接等加工.