【摘 要】
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压电陶瓷执行器具有体积小、能量密度高、分辨率高、频响快等优点,已经成为精密定位系统中重要定位及驱动元件.本文介绍了压电陶瓷微位移器的静态特性及其测量方法和实际测量
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压电陶瓷执行器具有体积小、能量密度高、分辨率高、频响快等优点,已经成为精密定位系统中重要定位及驱动元件.本文介绍了压电陶瓷微位移器的静态特性及其测量方法和实际测量系统.研究了以逆压电效应为原理的压电材料所构成的微位移器的性能,并且进行了神经网络建模,更精确地为控制微定位平台提供了模型,具有一定的实际意义.
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