论文部分内容阅读
利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸锶（SrTiO3）膜，并制成平面型电阻器。结果表明：在实验温区（28～150℃）内，SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性，且热敏牧场生比较明显，在室温30℃时，温度系数α达－2．15％℃^-1。建立热敏电阻－电容器并联模型，分析了频率对不同温度下薄膜电阻器阻拢的影响。在实验温区内，SrTiO3薄膜的介电常数具有较好的热稳定性。