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利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸锶(SrTiO3)膜,并制成平面型电阻器。结果表明:在实验温区(28~150℃)内,SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性,且热敏牧场生比较明显,在室温30℃时,温度系数α达-2.15%℃^-1。建立热敏电阻-电容器并联模型,分析了频率对不同温度下薄膜电阻器阻拢的影响。在实验温区内,SrTiO3薄膜的介电常数具有较好的热稳定性。