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物理气相沉积（ＰＶＤ）已得到广泛的工业应用，而双重处理，低温沉积ＴｉＮ和Ｔｉ２Ｎ等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未安全了解，本文则对这些涂层的基本工艺，主要性能和应用前景作一简要介绍。
表面处理和涂层技术的新进展及新用途
【摘 要】
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物理气相沉积（ＰＶＤ）已得到广泛的工业应用，而双重处理，低温沉积ＴｉＮ和Ｔｉ２Ｎ等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未安全了解，本文则对这些涂层的基本工艺，主要性能和应用前景作一简要介
【机 构】
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西北有色金属研究院
【出 处】
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稀有金属与硬质合金
【发表日期】
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1997年3期
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