一代新型温度传感器

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【摘要】

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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。报道了研制成的薄膜铂电阻性能全面符合IEC751标准。 This paper discusses the design of pla

【作者】

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武蕴忠孙承龙徐梅芳褚卫兵丁青李生强

【机构】

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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所

【出处】

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传感器技术

【发表日期】

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1991年03期

【关键词】

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温度传感器 TCR 铂电阻封装材料膜料制造工艺电阻温度系数退火温度可靠性度量使用温度范围

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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。报道了研制成的薄膜铂电阻性能全面符合IEC751标准。 This paper discusses the design of platinum film temperature sensor, manufacturing process, film and substrate and packaging materials. It is reported that the developed thin film platinum resistance fully complies with the IEC751 standard.

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