【摘 要】
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采用等离子化学气相淀积方法，改变ＳｉＨ４和Ｈ２Ｏ的流量比制备含有不同氧浓度的ａ－Ｓｉ：Ｈ，薄膜，用离子注入方法掺入铒，经３００－９３５℃快速热退火，在波长１．５４μｍ处观察到很强的室温光致发光。氧的加入可以大大提高铒离子
【机 构】
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中国科学院半导体研究所中国科学院凝聚态物理中心和表面物,中国科学院半导体研究所中国科学院凝聚态物理中心
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划和国家自然科学基金资助项目!项目号 :6963 60 4 0 ,699760 2 8&&
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采用等离子化学气相淀积方法，改变ＳｉＨ４和Ｈ２Ｏ的流量比制备含有不同氧浓度的ａ－Ｓｉ：Ｈ，薄膜，用离子注入方法掺入铒，经３００－９３５℃快速热退火，在波长１．５４μｍ处观察到很强的室温光致发光。氧的加入可以大大提高铒离子的发光强度，并且发光强度随氧含量的变化有一个类似于高斯曲线的分布关系，不是单调地随氧含量的增加而增强，研究了掺铒ａ－Ｓｉ：Ｈ，Ｏ薄膜和微结构，讨论了发光强度与薄膜微结构的关系。
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