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当脉冲辐射a-Si:H膜的XeCl激光能量密度在240mJ/cm^2以上时,可引起被辐照膜发生明显的固相晶化;通过拉曼(Raman)散射谱、扫描电子显微照象(SEM)和紫外(UV)分光光度吸收谱的实验,研究了不同辐照条件、不同膜厚及各种膜结构试样的晶化效果;还研究了使用CO2激光退火对被辐照膜的影响。结果表明,晶化膜的晶粒大小在0.1~1.0μm时,Raman位移为510cm^-1~517cm^-