【摘 要】
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为提高常压烧结法制备的掺铝氧化锌（AZO）靶材性能,以sol-gel法制备的Al-ZnO复合纳米粉末为原料,对制备工艺参数进行了优化。结果表明：湿法球磨对生坯的密度均匀性有利;随成型压
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为提高常压烧结法制备的掺铝氧化锌（AZO）靶材性能,以sol-gel法制备的Al-ZnO复合纳米粉末为原料,对制备工艺参数进行了优化。结果表明：湿法球磨对生坯的密度均匀性有利;随成型压力提高靶材致密度先升后降,电阻率呈相反趋势;增加烧结保温时间,晶粒尺寸变大,致密度与电阻率改善不明显;采用2MPa成型压力,在1250℃烧结1.0h,所得到的掺杂质量分数为2%的Al的ZnO靶材致密度达99.2%,电阻率约为2×10-2？·cm。
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