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微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪 工作原理和关键技术，并对仪器的精度进行了分析。
微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究
【摘 要】
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微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪 工作原理和关键技术，并对仪器的精度进行了分析。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年2期
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