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本文概述了VLSI技术中各种低温工艺的重要性、获得方法及其优于常规工艺的各个方面。
VLSI工艺技术：六低温工艺
【摘 要】
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本文概述了VLSI技术中各种低温工艺的重要性、获得方法及其优于常规工艺的各个方面。
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1989年4期
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