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1微机电系统一般说来，微机电系统（而．croelectronicmechanicalsystem，MEMS）是指可以用微电子等批量加工工艺制造的集微机械与微电子等部件于一体的部件或结构，它可以分成多个独立的功能单元，输入的物理或化学信号由传感器转换为电信号，经过信号处理后，通过执行器与外界作用。我们习惯上把含有光学部件的装置也包括在MEMS内。这些部件结构单独或集成在一起，可以在微观层次感受、控制和作动物体，并产生类似宏观的作用效果。MEMS的特点和优点是显而易见的：体积小、重量轻、性能稳定2通过IC等工