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针对晶圆测试平台内部构造和工作特点,采用了多体系统理论法对晶圆测试平台空间定位误差进行建模。首先通过低序体阵列描述多体系统拓扑结构,将晶圆测试平台各体之间的关系转换为各坐标系之间的关系,然后建立低序体之间的理想与实际特征变换矩阵,最终建立晶圆测试平台空间定位误差模型。上述模型包含了由于制造、装配、运动控制不精确等因素带来的空间定位误差。给出了晶圆测试平台空间定位误差的数学表达式,为后续误差补偿提供理论基础。