【摘 要】
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化学敏感场效应管(CHEMFET)是一种化学敏感半导体器件.1970年,Bergveld最先报导了这种器件;1972年,他又详细地介绍了氢离子和钠离子敏感场效应管.十多年来,CHEMFET获得了较
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化学敏感场效应管(CHEMFET)是一种化学敏感半导体器件.1970年,Bergveld最先报导了这种器件;1972年,他又详细地介绍了氢离子和钠离子敏感场效应管.十多年来,CHEMFET获得了较大的发展,特别是对离子敏感场效应管(ISFET)已作了大量研究.目前
CHEMFET, a chemically sensitive semiconductor device, was the first to be reported by Bergveld in 1970 and introduced in more detail in more than a decade for hydrogen ion and sodium-ion-sensitive FETs in 1972. , CHEMFET has made great progress, especially for ion-sensitive field-effect transistor (ISFET) has made a lot of research. At present
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