铁电PZT薄膜的金属有机溶液沉积

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金属有机溶液沉积技术(MOSD)或溶胶-凝胶技术可用来制备适宜于光电用途的含有大量复合物以及晶体结构的锆钛酸铅(PZT)陶瓷。薄膜形态受化计量方法、溶胶-凝胶溶液的水解作用和聚合作用以及沉积材料的热处理条件的影响。晶格参数随PZT中钛的增加而 Metal organic solution deposition (MOSD) or sol-gel technology can be used to prepare lead zirconate titanate (PZT) ceramics containing a large number of complexes and crystal structures suitable for photovoltaic applications. Thin film morphology by the method of measurement, the hydrolysis and polymerization of the sol-gel solution and the heat treatment conditions of the deposited material. The lattice parameters increase with the increase of titanium in PZT
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