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本方简述了一种可用于高精度x、y工作台的粗微重叠驱动机构。并就其主要结构特点和可能的实际应运方法作了论述。
用于高精度X,Y工作台的粗微重叠驱动机构
【摘 要】
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本方简述了一种可用于高精度x、y工作台的粗微重叠驱动机构。并就其主要结构特点和可能的实际应运方法作了论述。
【机 构】
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机电部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1992年2期
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