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声学梳谱信号产生器件的探索

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：boyzhxj

【摘 要】

：

介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振

【作 者】

：

朱昌安  周勇  穆晓华  郑泽渔  徐阳  司美菊  田亚 

【机 构】

：

中国电子科技集团公司第二十六研究所

【出 处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2015年06期

【关键词】

：

声学 梳谱信号 高次谐波声体波谐振器 压电换能器 氧化锌薄膜 品质因数(Q)值 

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介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。

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