铝合金等离子体基离子注入形成AlN/TiN层结构研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ztsdc
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明,N和Ti能注入铝合金表面,N在注入层呈类高斯分布,而Ti沿注入方向呈梯度递减。后注入的Ti和N对先注入的N的含量和分布有重要影响。同时注入Ti和N,能在试样表面形成一层稳定的Ti,N层。所形成的AlN/TiN改性层主要由TiO2,TiN,TiAl3,Al2O3,AlN相组成。
其他文献
在磁控溅器中用钛板作阴极,采用直流反应磁控溅射在玻璃基板上制备二氧化钛薄膜,溅射气体为氧、氩混合气体,O2与Ar比例为1:2,溅总气压范围为0.5-6.65Pa,溅射时基板温度范围为100-400℃,薄膜厚度范围为140-1100nm。
论文在介绍建构主义学习理论的基础上,根据农业院校学生的主要特征,探讨了管理沟通课程的教学目标、教学内容、教学设计。从学习情景设计、学习资源设计、教师引导设计、学生合
湖北省的经济发展水平与全国其它地区存在着较大的差异,从全国范围看,湖北省多年一直处在中等偏下的水平,而在长江流域,近年湖北省一下游省市的差距在迅速扩大;在中心地区各省中,湖
在简要阐述了县域社会经济发展综合评价原则的基础上,建立了悬域社会经济发展综合评价的指标体系,利用层次分析法确定了各评价因子的权重。接着以乌江流域为例,对流域内40个县域的
安徽沿江地区虽然交通网络初具规模,城市专业化分工明显经济发展水平较低,属长江干流地区的低谷地带。另外,整个沿江地区应发挥水运与矿产资源的双重优势,促使建材,钢铁,石经等临江
城市群形成协调有序、分工合理的产业体系和产业集群,有利于减少雷同,避免盲目竞争和资源浪费,城市群协调发展的要求使得其对诱致性和强制性制度变迁产生需求。因此,在区域经济一
实行流域污水信息处理的市场化是社会主义主市场经济与流域水环境保护的客观要求,是流域污水集中处理厂自我发展壮大并最终走上可持续必经营的必要条件。如何推行流域污水集中
独立学院是我国高等教育领域的新生事物。近几年,独立学院发展迅速,独立学院的学生人数所占比例逐年增加。在全新的办学机制、办学理念和办学模式下的大学生群体与一般的高等院
“艺用人体解剖”课程是各大艺术院校的专业必修课,了解人体结构和解剖构造是画好人物的前提。无论是纯艺术专业还是实用美术中的动漫游戏专业不可避免的要以人物为原型进行创
根据华中地区10个测站1951-1995年7-8月气温资料,采用EOF、遥相关、全盛分析等统计-天气气候学方法,研究了华中夏季温度变化同北太平洋SSTA场的相关结构及北半球500hpa高度场对海