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随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面,讨论和阐述了如何使其安全良好运行,进而确保制备样品的质量,为高校科研活动提供保障。
微纳米加工净化间的环境维护与管理
【摘 要】
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随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净
【机 构】
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兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室
【出 处】
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实验科学与技术
【发表日期】
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2015年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51202102)
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