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从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验．用离子束溅射制备金属薄膜，研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化．用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条件得到的薄膜的表面形貌特征．
薄膜系列实验的教学研究
【摘 要】
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从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验．用离子束溅射制备金属薄膜，研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化．用扫描隧道显
【机 构】
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华中科技大学物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2006年10期
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