【摘 要】
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一种用于制造含有溶解的臭氧的水的设备，包括（A）用于供应超纯水的管道，通过该管道供应超纯水，（B）催化反应部分，该部分与用于供应超纯水的管道相连，并且在该部分中使得超纯水与氧化－还原
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一种用于制造含有溶解的臭氧的水的设备，包括（A）用于供应超纯水的管道，通过该管道供应超纯水，（B）催化反应部分，该部分与用于供应超纯水的管道相连，并且在该部分中使得超纯水与氧化－还原催化剂接触，（C）过滤装置，通过该装置将在催化反应部分中被处理的超纯水过滤以及（D）用于溶解臭氧的装置，在该装置中自氧溶解进入从过滤装置排出的超纯水；以及一种用于制造含有溶解的臭氧的水的设备，包括用于制造超纯水的装置、用于溶解自氧的装置和催化反应部分，该用于制造超纯水的装置装备有利于紫外光进行辐射的装置，在该用于溶解息氧的装置
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