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滚珠丝杠运动平台已逐渐广泛应用于晶圆(即硅片)和IC半导体组件的运送装置.本产品开发的主要目的是将一轴直线运动平台模块化、标准化,而使用者可根据作业内容的需要选择适当的型式及行程,组成不同的结构,以满足顾客快速、低成本的需求,维系顾客在产品市场上的竞争优势.
滚珠丝杠运动平台的应用
【摘 要】
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滚珠丝杠运动平台已逐渐广泛应用于晶圆(即硅片)和IC半导体组件的运送装置.本产品开发的主要目的是将一轴直线运动平台模块化、标准化,而使用者可根据作业内容的需要选择适当
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2004年6期
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