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精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度
精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度和界面结合强度
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangzhengm
【摘 要】
:
采用声发射监测悬臂梁弯曲实验法测量并计算出HCD离子镀法制备的精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度,及其与钛基材界面抗剪切强度(结合强度)值分别是:603MPa,242MPa。
【作 者】
:
刘长清
李美栓
【机 构】
:
中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室,中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室助理研究员,沈阳(110015)
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1992年9期
【关键词】
:
TIN薄膜
抗拉强度
结合强度
tensile strength
adhesive strength
TiN film
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采用声发射监测悬臂梁弯曲实验法测量并计算出HCD离子镀法制备的精细TiN陶瓷薄膜的抗拉强度,及其与钛基材界面抗剪切强度(结合强度)值分别是:603MPa,242MPa。
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